石墨烯生长炉CVD系统-郑州科佳电炉

产品介绍：
KJ-1200-S6014LK1-H这款设备是专为生长石墨烯研制的石墨烯薄膜生长专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验，温区可独立程序控制，设备操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率。

主要参数：

产品名称		石墨烯生长炉CVD系统
型号		KJ-1200-S6014LK1-H
滑轨管式炉	炉体结构	滑轨式
	最高工作温度	1200℃
	持续工作温度	≤1100℃
	加热速率	最高20℃/min （建议10℃/min）
	加热区长度	300mm 单温区
	加热元件	含钼电阻丝
	热电偶	K 型
	控温精度	±1℃
	炉管直径	Φ50，Φ60，Φ80都可用
	炉管材质	石英炉管
	温度控制器	PID智能程序控温
	真空法兰	真空法兰采用304不锈钢制作左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。右端法兰设计为KF25接口，配有挡板阀和两个KF25卡箍注：法兰可选结构，标准螺丝法兰，快接KF法兰，铰链法兰
	输入电源	单相 220V, 50 Hz 功率：3KW
真空泵系统	旋片真空泵带数字真空计（包含KF25接口和可移动箱体）	极限真空度 10-3 Torr. 炉管内真空度 10-2 Torr. 抽速: 4CFM (2L/S, 120L/min) 备注：用户可根据真空度要求不同可选用旋片真泵、扩散泵组，分子泵组
质量流量计	3路高精度质量流量计: 量程：MF1-MF3量程范围50-1000sccm可调底部安装有一个混气罐，左侧安装有3个不锈钢针阀，可手动控制3种气体的流量。
注意事项	. 炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全 · 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
认证	ISO认证、CE认证
售后服务	质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围）

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石墨烯生长炉CVD系统