1200℃迷你混气CVD-郑州科佳电炉

1200℃迷你混气CVD

型号：KJ-T1200-S5020-IC

简要描述：

KJ-T1200-S5020-IC迷你型CVD管式炉，是一款通过CE认证的可开启式管式炉，能使样品加热到1200℃。配有两路质量流量计混气气路，配有真空泵真空可达10pa，准确的PID程序多段程序控温。

产品介绍：
KJ-T1200-S5020-IC迷你型CVD管式炉，是一款通过CE认证的可开启式管式炉，能使样品加热到1200℃。配有两路质量流量计混气气路，配有真空泵真空可达10pa，准确的PID程序多段程序控温，适用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等试验。

技术参数：

型号	KJ-T1200-S5020-IC
炉管直径	Φ50
加热区	200mm
温度温度	最高1200℃，工作温度1100℃
加热速率	0-20℃/min，建议20℃/min
控温精度	±1℃
加热元件	含钼电阻丝
控制方式	PID智能化多段程序控温
炉管材质	石英管
额定电压	110-415V，50/60Hz
气路系统	三路质量流量计：手动智能控制，数字显示，； 1.MFC 1-MFC3：0-500sccm可调 2.3个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制3种气体； 3.进出气口：3进1出 4.连接方式：双卡套连接
真空系统	采用国产真空泵，抽速2.2L/S，真空度可达10pa，真空度数显示在数显真空计上
注意事项	炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全 · 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
质保	质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围）

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1200℃迷你混气CVD