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产品介绍:
KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系统是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜, 该系统主要用于金属粉末镀膜中，可以旋转倾斜。KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系统属于PECVD系列的一种。
1200度管式PECVD系统实拍图
产品优势：
1、气密性好
1200℃管式PECVD系统炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好，磁流体密封，保证旋转过程中还能抽真空
2、温场均衡
采用多晶纤维炉膛材料，材料保温性能好、反射率高、温场均衡
3、可旋转、倾斜
1200℃管式PECVD系统主要采用J-T1200旋转管式炉，可倾斜可旋转，可360度旋转，转速0-15转（速度可调）；倾斜角0-15°（倾斜角可调）方便进出料，并且路管内设置有扬料板，使材料在炉膛内均匀受热
4、温控保护
具有超温和断偶保护功能
产品参数：
| 产品名称 | 管式PECVD等离子气相沉积系统(CE认证) |
| 旋转管式炉部分 | |
| 产品型号 | KJ-T1200 |
| 加热区长度 | 660mm（220+220+220mm三温区） |
| 恒温区长度 | 400mm |
| 炉管材质 | 高纯石英管（变径管） |
| 炉管尺寸 | 变径管 两端尺寸OD:80mm* 400mm 中间尺寸OD:150mm* 400mm 总长1200mm 炉管中间部分焊接扬料板 |
| 工作温度 | ≦1100℃ |
| 最高温度 | 1200℃ |
| 测温元件 | 3支K型热电偶分别控温 |
| 温控系统 | 7寸触屏显示，16段可储藏曲线，30段PID微电脑可编程自动控制，能储存和拷贝数据 |
| 保温温控精度 | ±1℃ |
| 温控保护 | 具有超温和断偶保护功能 |
| 升温速率 | 0-20ºC/min |
| 加热元件 | 合金电阻丝 |
| 工作电压 | AC220V 单相50HZ |
| 额定功率 | 5KW（以实际功率为准） |
| 炉膛材料 | 采用多晶纤维炉膛材料，材料保温性能好、反射率高、温场均衡 |
| 密封系统 | 该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好 |
| 法 兰 | 水冷密封法兰，已安装机械压力表和不锈钢截止阀，方便拆卸，放取材料 |
| 倾斜结构 | 可倾斜倾斜角0-15°（倾斜角可调）方便进出料 |
| 旋转结构 | 可 360 度旋转， 转速0-15转（速度可调） 材料在炉膛内均匀受热 |
| 炉壳温度 | ≤45℃ |
| 真空系统部分 | |
| 名称 | 分子泵组： 旋片泵DRV16+分子泵FF-160/620 |
| 主要参数 | 极限真空度6.7*10-3Pa（包含KF25接口、真空挡板阀和可移动箱体） |
| 真空显示 | 电容隔膜真空规，耐腐蚀，实时显示真空度 |
| 真空显示量程 | 其测量范围为1×105--1×10-5pa |
| 旋转密封 | 磁流体密封，保证旋转过程中还能抽真空 |
| 气路系统部分 | |
| 名称 | 三路质量流量计 |
| 气路 | 三路 |
| 流量控制 | 液晶触摸屏控制，数字显示，每路气体含有针阀单独控制，气体流量自动控制 |
| 进出气口 | 三进一出，内置精密混气罐 |
| 链接方式 | 双卡套接头 |
| 流量范围 | MFC1-MFC3：0-10SLM（量程可选） |
| 控制精度 | ±1.5%F.S左右，量程不同，略有差别 |
| 工作环境温度 | 5℃-45℃ |
| 等离子射频器部分 | |
| 名称 | 射频自动匹配器 |
| 工作频率 | 13.56MHZ+0.005% |
| 正常工作反射功率 | ＜3W |
| 匹配时间 | ＜3S |
| 传输效率 | ＞90% |
| 使用稳定性 | ±1%F.S |
| 匹配器电源 | AC220V/50-60HZ |
| 输入连接器/输出连接器 | N型/UHF |
| 控制模式 | 手动/自动 |
1200度管式PECVD系统实拍图