混气管式PECVD-郑州科佳电炉

产品介绍：
KJ-1200-S6010LC3-3Z设备是由触屏管式炉、三路混气气路系统、进口真空系统、300w等离子电源系统组成，可用于石墨烯制备。
主要特点：

   1、通过SE频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
   2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
   3、可以通过SE频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
   4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高.
   5、广泛应用于：各种薄膜的生长。
技术参数：

产品名称		混气管式PECVD系统
型号		KJ-1200-S6010LC3-3Z
管式炉	最高工作温度	1200℃
	持续工作温度	≤1100℃
	加热速率	最高20℃/min （建议10℃/min）
	加热区长度	300mm 单温区
	加热元件	含钼电阻丝
	热电偶	K 型
	控温精度	±1℃
	炉管尺寸	炉管直径Φ50，Φ60，Φ80都可用
		材质: 高纯石英
	温度控制器	PLC触屏控制
	真空法兰	真空法兰采用304不锈钢制作 · 左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。 · 右端法兰设计为KF25接口，配有挡板阀和两个KF25卡箍注：法兰可选结构，标准螺丝法兰，快接KF法兰，铰链法兰
	输入电源	单相 220V, 50 Hz 功率：3KW
真空泵系统	进口真空泵	采用进口真空泵，真空度达 1.5 x 10-3 Torr 2.KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连；进口数字式真空显示计，其测量范围为5×10-5- 1500mbar，测量精度可达0.1，测量不同气体种类不需要系数转换
	工作频率	13.56MHZ+0.005%
	工作模式	连续输出
	供电电源/频率	单相交流 (187V-253V)50-60HZ
	射频输出接口	UHF male
	最大反射功率	＜2W
	谐波分量	≤-50 (dBc)
	电源保护设置	DC过流保护，功放过温保护，反射功率保护
	冷却方式	强制风冷
	等离子电源功率可选	200w/300w/500w/1000w
触屏质量流量计	三通道精密质量流量计：液晶触摸屏控制，数字显示，每路气体控制均可在不同气体中任意切换，无须人工换算； 1.MFC 1-MFC3：0-500sccm可调 2.3个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制3种气体； 3.进出气口：3进1出 4.连接方式：双卡套连接
注意事项	. 炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全 · 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

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混气管式PECVD