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型号:KJ-V1200-S60LD
简要描述:
立式PECVD系统,由KJ-V1200真空立式管式炉、石英真空室、射频电源、供气系统、真空测量系统组成。
产品名称UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
立式PECVD系统UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
产品型号UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
KJ-V1200-S60LDUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
立式管式炉UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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炉膛模式UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
立式开启式UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉膛材料UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
进口氧化铝耐火纤维UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热元件UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
进口含钼加热丝UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
极限温度UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1200℃UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作温度UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
≤1100℃UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
升温速率UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
≤20℃(建议:15℃/min)UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热温区UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
单温区UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
温区总长度UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
440mmUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉管材质UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
高纯石英UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
炉管尺寸UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
60mm*1600mmUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
密封方式UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
控制模式UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
触屏 30段智能PID程序控温 预留通讯接口UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
控温精度UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
±1℃UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
温度曲线UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
多段"时间—温度曲线"任意可设UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
测温元件UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
K型热电偶UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
供电电源UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
220V 50HZ 3KWUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气路系统UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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工作电压UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
220V/50HZUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
最大输出功率UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
18WUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
工作温度UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
5--45℃UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
最大气压UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
3*106PaUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气体通道UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
可同时连接3种气源UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
流 量 计UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
质量流量计UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
A路量程 UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0~500SCCMUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
B路量程 UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0~500SCCMUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
C路量程 UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0~500SCCMUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气路压力UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
-0.1~0.15 MPaUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
截止阀UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
不锈钢材质UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气体连接管UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1/4不锈钢管UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
混气罐规格UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
Φ80X120mmUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
等离子电源系统UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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射频频率UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
13.56 MHz ±0.005%UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
功率范围UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
0-500W ± 1%UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
反射功率UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
最大100WUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
射频接口UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
50 Ω, N-typeUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
嗓声UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
≤55DBUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
冷却UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
风冷UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
输入功率UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
1KW AC220V/50HZUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
数显真空计及连接件UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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防腐数显真空计 UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
英福康防腐数显真空计安装在不锈钢法兰上UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
真空泵组(相关连接配件)UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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真空泵UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
2.2L/S抽速真空泵,及相应连接管件 220V/50HZUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
汽化系统UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
电源UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
220v 50Hz 功率: 2200WUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 蠕动泵UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
精确度:+/- 0.5% FSUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 流量: 0 - 10 ml/min,可调,最小速率0.1ml/minUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 将吸液管放置在溶液容器中,蠕动泵可自动抽取液体UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
加热&控温UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
流体和气体会在一个不锈钢罐中加热,此罐已经安装在壳体中,加热最高温度550ºCUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 不锈钢出气管处有二次加热带,防止蒸汽在输出过程中冷凝,二次加热带加热最高温度200ºCUmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 气体流量控制UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
气体流速通过浮子流量计控制UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 量程:0.2- 2L/min(可调)UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 一压力表安装在壳体面板上,可以测出液气混合罐中的气体压强UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 面板上安装有两个不锈钢针阀,以控制气体的进出UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 出气口尺寸:1/4”OD的不锈钢口UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
认证UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
ISO认证、CE认证UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
售后服务UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)UmE管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-郑州科佳电炉有限公司 |
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