双炉体滑动式PECVD系统-郑州科佳电炉

产品介绍：
KJ-T1200-S6018LC-H2是一款双炉体滑动的PECVD系统，此款设备中石英炉管采用双管设计，便于实验容器的更换清洗，炉体采用滑动式，可在室验中对样品进行快速加热和快速冷却。此款仪器特别适合新一代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。

技术参数：

产品名称		双炉体滑动式PECVD系统(CE认证)
滑轨管式炉部分
产品型号		KJ-T1200-S6018LC-H2
炉管尺寸		Φ60mmX1800mm
炉管材质		石英炉管
炉管结构		双炉管，内炉管Φ50mmX300mm
炉体数量		双炉体
加热区		200mm，恒温区100mm
工作温度		1100℃
最高温度		1200℃
温控方式		K型热电偶
控制方式		PLC触屏集成控制（加热系统+真空系统+气路系统）
控温精度		±1℃
温度均匀性		±5℃
温控保护		具有超温和断偶保护功能
升温速率		0-20ºC/M
加热元件		含钼电阻丝
工作电压		AC 220V 单相 50HZ （电路电压用户可选择定制）
加热功率		3KW
炉膛材料		氧化铝多晶纤维
炉体结构		滑轨结构，两个炉体在一个滑轨上面，和通过对炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果
滑轨尺寸		镀Cr厚钢板做的双向滑轨滑动长度：1200mm
法兰接头		标配配有两个不锈钢真空法兰，已安装机械压力表和不锈钢截止阀
密封系统		该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好。
真空系统部分
主要参数		1、采用进口爱德华真空泵，真空度达 1.5 x 10^-3 Torr 2、 KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连；防腐型进口英富康数字式真空显示计，其测量范围为5×10-5- 1500mbar，测量精度可达0.1，测量不同气体种类不需要系数转换。
气路系统部分
名称		五路质量流量计混气系统
控制方式		触屏集成控制
主要参数		五通道精密质量流量计：液晶触摸屏控制，数字显示，每路气体控制均可在不同气体中任意切换，无须人工换算；数字显示，自动控制。流量范围流量范围：O2，H2，C2H2，CH4，NH3 1.MFC 1-MFC5：0-50sccm 2.5个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制5种气体； 3.进出气口：5进1出 4.流量控制：触屏设置，手动开关 5.连接方式：双卡套连接
等离子电源部分
名称	1000W等离子电源
功率范围	0-1000W（连续可调）
工作频率	13.56MHZ+0.005%
工作模式	连续输出
射频输出阻抗接口	N-type,female（50Ω）
功率稳定度	≤2W
最大反射功率	130W
电源保护设置	DC过流保护，功放过温保护，反射功率保护
供电电压/频率	单相交流（187V-253V）50-60HZ
冷却方式	风冷
整机尺寸	88X483X550 MM
认证	ISO认证、CE认证
售后服务	质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围）

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双炉体滑动式PECVD系统