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产品介绍:
KJ-TCVD1600-L80LB3是一个CE认证的三温区管式炉CVD系统。炉管直径为80mm。真空泵采用双旋转机械泵，气体混合系统为4路质量气体混合系统。该炉工作温度可达1600℃，真空度可达10pa。属于CVD系统的一种。
3温区管式CVD系统实拍图
产品优势:
1、发热元件采用优良MoSi2，炉膛采用陶瓷纤维材料，保温性能好，经久耐用，抗拉强度高，无杂志，纯度高，节能效果明显。
2、超温报警及断电、漏电保护，运行安全可靠。
3、独立温控器，30级可编程温度。
产品参数：
| 加热系统（管式炉） | |
| 最高温度 | 1700 ℃ |
| 工作温度 | 1600℃ |
| 显示 | LED显示屏 |
| 管径 | 80mm（外径） |
| 管材 | 优质铝管 |
| 热区长度 | 220+220+220mm（每个热区之间会有间隙） |
| 加热元件 | MoSi2 |
| 加热速率 | 0-5℃/min |
| 温度控制 |
● PID自动通过SCR（可控硅整流器）控制功率，相位角触发，限流电阻器。 ● 30个可编程段，用于控制加热速率、冷却速率和停留时间。 ● 内置PID自动调节功能，具有过热和热电偶损坏保护功能。 ● 超温保护和报警，允许在无人值守的情况下操作。 |
| 热电偶 |
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| 温控精度 | ±1℃ |
| 炉膛结构 |
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| 真空法兰 | 带阀门的不锈钢真空法兰 |
| 工作电压 | 220V 50Hz |
| 最大功率 | 6KW |
| 供气系统 | |
| 4通道质子流量计： | MFC 1：气体流量范围为0~100sccm MFC 2：控制范围为0~200 sccm MFC3：控制范围为0-500sccm MFC4：控制范围为0~200 sccm 一个气体混合罐安装在底部壳体上，带有液体释放阀 底壳左侧安装4个不锈钢针阀，控制4种气体混合 |
| 真空泵+真空计系统 | |
| 真空泵+真空计 | 配备旋转叶片泵，使真空度达到10Pa（冷却状态） |
3温区管式CVD系统实拍图