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产品介绍：
带预热器和滑轨的1600C最大三区PECVD管式炉（外径80 mm）可以将固体材料放入加热器中进行蒸发并与气相混合的PECVD设备的一种。
主要产品优势：
(1).与普通PECVD相比较，其沉积温度大大降低，减少了高温对薄膜的损坏。
(2).可通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果。
(3).炉体有两个温区，可在炉体内形成温度梯度，两个温区最大温差为400℃。
(4).带有预热炉，气体可通过此炉预热也可将液体蒸发气化或固体原料升华后与气体原料混合。
产品参数：
带预热器和滑轨的1600C最大三区PECVD管式炉（外径80 mm）可以将固体材料放入加热器中进行蒸发并与气相混合的PECVD设备的一种。
主要产品优势：
(1).与普通PECVD相比较，其沉积温度大大降低，减少了高温对薄膜的损坏。
(2).可通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果。
(3).炉体有两个温区，可在炉体内形成温度梯度，两个温区最大温差为400℃。
(4).带有预热炉，气体可通过此炉预热也可将液体蒸发气化或固体原料升华后与气体原料混合。
产品参数：
| 产品名称 | 1600℃高温PECVD设备 |
| 产品型号 | KJ-T1600-PECVD |
| 炉膛 | 分体式，上部可打开 |
| 最高温度 | 1600度 |
| 工作温度 | ≤1500℃ |
| 加热速率 | 0~10℃/min |
| 温区 | 200mm+200mm+200mm |
| 加热元件 | 硅钼棒 |
| 热电偶 | B型热电偶 |
| 温度控制精度 | ±1℃ |
| 炉管尺寸 | 80mm OD x 3200 mm L |
| 管子材质 | 石英管 |
| 温度控制 | 通过SCR功率控制的PID自动控制 |
| 加热曲线 | 30步可编程 |
| 真空法兰 | 带阀门的不锈钢真空法兰 |
| 电源 | 380V 50Hz 三相 |
| 功率 | 14KW |
| 输出功率 | 5-300W可调，稳定性±1% |
| 射频频率 | 13.56 MHz±0.005%稳定性 |
| 反射功率 | 最大200W |
| 真空泵 | 3旋片式真空泵+分子泵系统 |
