ALD PECVD设备-郑州科佳电炉

产品简介：
该pecvd设备是由管式炉真空泵和六通道质量流量计气体流动系统组成的。它可以混合1-6种气体用于PECVD或扩散。属于PECVD系列设备的一种。

技术参数：

参数		KJ-PECVD-LM
第一部分：标准件
管式炉	Display	触摸屏
	连续工作温度.	≤1100℃第一温区 ≤1100℃第二温区 ≤1600℃第三温区
	升温速率	建议: 0~10℃/min
	温区	220mm+220mm+220mm
	加热元件	硅碳棒和硅钼棒
	热电偶	K型和B型
	温度控制精度	±1℃
	炉管尺寸	80x1600mm (OD x minimum L) Approx.
	炉管尺寸	材料：氧化铝管
	温度控制	通过SCR功率控制的PID自动控制
	倾斜功能	0-15度（不建议在1100C温度下使用倾斜功能，因为MoSi2加热元件可能容易损坏。高温时会变软，请注意。）
	加热曲线	30步可编程
	真空法兰	带阀门的不锈钢真空法兰右侧法兰为滑动式。法兰应为水冷式。
	电源	220V, 50 Hz, single phase at max. 8KW
等离子射频	功率范围	0-300W（连续可调）
	控制模式	手动
	工作频率	13.56MHz
	报警保护	直流过载保护、直流/放大器过热保护、反射功率保护、匹配超时保护
	射频输出阻抗接口（50Ω）	N型，内螺纹
	功率稳定性	≤ 1 W
	最大反射功率	200 W
	谐波分量≤d Bc	-50
	电源电压	187V - 253V
	总效率≥%	70
	冷却方法	强制空气冷却
真空泵	分子泵系统	极限真空：6.7*10-5 Pa。包括数字真空计
质量流量计（LCD触摸屏）	六个精密质量流量计： MFC精度为：±1.5%F.S。 MFC1 氩气：气体流量范围取决于客户的要求 MFC2 氮气：气体流量范围取决于客户的要求 MFC3 氧气：气体流量范围取决于客户的要求 MFC4 二氢化二碳：气体流量范围取决于客户的要求 MFC5 甲烷：气体流量范围取决于客户的要求 MFC6 氢气：气体流量范围取决于客户的要求（以上流量范围仅供参考，请在订购前确认气体流量范围。）底壳上安装了一个气体混合罐，底壳左侧安装了6个不锈钢针阀，用于手动控制6种类型的气体混合。 MFC的液晶触摸屏（由科佳设计，带有科佳标志）如下：
ALD阀门（此阀门不是由我们提供的）	两个带脉冲控制器的ALD阀（持续时间至少为10ms）并连接到触摸屏
17MHZ超声波雾化	配备1.7MHz超声波雾化器，液体可雾化成液体颗粒并引入管式炉。 20VAC，1.7MHz超声波雾化器 •液体罐标配316不锈钢，并用氟橡胶密封件密封； •雾化量可设置为1至8，雾化量可通过调整齿轮的大小来控制； •可实现连续运行雾化和常规运行雾化两种功能。正时可以从30分钟调整到180分钟（每30分钟调整一次档位）。
液体注入系统	•一套用于自动液体供给的标准液体注入泵 •注射泵配有最大容量为60ml的塑料注射器，用于容纳液体； •注射泵速度调节范围： 0.004ml/min-70ml/min
水冷却器	用于冷却水冷法兰和真空泵。

产品中心

ALD PECVD设备